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　　　　　　　　　光盘复制母盘的制作生产过程介绍

光盘复制：主要包括VCD/CDROM/CD光盘复制，DVD5/DVDROM光盘复制，随着社会的发展光盘复制方式在不断增多，VCD/CDROM/CD光盘复制和DVD5/DVDROM光盘复制目前主要以光盘面印刷，光盘刻录复制为最基本的方法，另外一种也是最基本的一种即光盘批量压制。这主要适合大批量光盘的生产与复制。

一般来说，不论是在制作或文章发表时所提及的CD家族或是DVD家族，都只是指射出之成品盘片。然而，若没有母版，则后制程的所有相关成品则无法生产，更别说有成品;更何况不论是在Pre-recorded或Recorded的盘片系列中，所有的资料、讯号、甚至于每张盘片的辨识号码I.D. 与所谓的Pit Art(记录坑形成特殊图案的设计)，都是在制作母版时就已定型，由此可知，母版在盘片制作过程中，其实是占有相当重要之地位。

本文将针对母版之制程(适用于所有盘片，甚至LD亦需要母版)做一解说，母版制程可分为下列几项： R.M.P. (Resist Mastering Preparation) 制程；玻璃基版准备前制作业
L.B.R. (Laser Beam Recorder) 制程；雷射刻版作业
GAL. (Galvanic) 制程；母版电铸作业
1.R.M.P.制程

母版的主要材料为玻璃基版(圆盘状的玻璃，在大厅门口可以见到她的芳踪)，而RMP制程便是在玻璃基版上涂布光阻剂以作为刻版机讯号刻录之基材。其流程图如下：

图1.RMP制作流程图

由于玻璃基版是可以重复使用的，因此对于使用过之玻璃基版则使用下图所列出之流程来处理玻璃基版的回收：

图2.玻璃基版回收流程图

2.L.B.R.制程

此部份分为刻版、显影化、及金属化三项作业。

2.1刻版

刻版是母版制作的心脏制程，其功能将工作母带的数字资料经讯号源接口系统(MIS)转换成高频讯号送至刻版机读取器，并驱动紫外雷射光刻录在涂有光阻剂的玻璃基版上，进行转录制程。其作业流程如下图所示。

· MIS：Mastering Interface System，此讯号源接口系统，由DCA这家公司提供，可以处理DDP格式的8mm数字资料带(如Exabyte Tape)及CD(-R)及数字线性资料带(如DLT Tape)当输入资料媒介。

紫外雷射光：本厂采用美国Coherent的雷射枪，为Kr气体激发雷射，波长351nm，其所形成的光点小到可以刻录高密度光盘DVD。
2.2显影化

显影化的功能是把刻录的讯号显像出来。雷射光刻录在涂有光阻剂的玻璃基版上，在显影机藉显影液将受曝光的点洗去，而显像出有讯号的凹凸坑洞。其作业流程如下页图所示。

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图4.显影作业流程图

· 显影液：为一碱性化学溶液，可以溶解受曝光的光阻剂。

显影：显影机附有一侦测显影终点的光感应之光电二极管，形成的坑点是符合规格可以读取的讯号，并可匹配于射出机模座，容易使射出片与母版分离而完全复制。
2.3金属化:

金属化的功能是在显影完成之玻璃基版上镀上一层金属层，使有讯号之凹凸坑洞为金属状态，以便作为导电的电极一般，可以用来供电铸成形使用。所溅镀的金属层早期都使用银，但价格较贵之外其机械性质也不够好(让所生的版表面硬度不高，容易变形)，目前都改用镍钒合金靶(Ni-V Alloy Target)。

图5玻璃基版金属化溅镀作业流程图

图6溅镀机的示意图与其工作原理

溅镀(Sputtering)这一名词，经常会在高科技产业中听到，尤其是光盘产业与半导体产业，其原理是利用于真空舱中对靶材施加高负电能，同时在屏蔽(Mask)施以正高电压，当释放氩气(Ar)进入真空舱中时，氩气分子游离带高能量而高速碰撞镍钒合金靶块，将镍钒合金以离子状电浆溅出，所溅出之离子会以直线高速撞及较冷的物体表面而冷却下来，金属离子成为金属而附着于玻璃基版上，形成一层约150nm厚度的金属导电层，厚度可以被调整。其溅镀作业流程如下图，同时附上溅镀机工作原理。

· 真空交换舱(Load Lock Chamber)：玻璃基版被加载第一个舱体，抽成第一级的真空，同时藉此位置藉由机械帮浦排除一些可能的污染，以便进行第二级真空舱的进入准备。另外，此也提供了溅镀完毕后取出的大气压平衡位置，如果常看科幻电影的同仁，一定对此不陌生，就像宇宙飞船或潜水体与外界联系的准备室一般。

· 制程舱(Process Chamber)：真正进行溅镀的舱体，即第二级真空舱，随时保持真空状态。

3.GAL. (Galvanic)

此部份可分为电铸、Family、背磨及冲孔制程三个作业。

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